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熱式氣體流量傳感器是基于流體傳熱學(xué)原理的一類(lèi)傳感器，利用 MEMS 熱式原理對管路氣體介質(zhì)進(jìn)行流量監測。
流量芯片由兩個(gè)熱偶堆和一個(gè)加熱電阻組成，熱偶堆對稱(chēng)的分布在加熱電阻的上、下游，加熱電阻和熱偶堆的熱結處于一個(gè)隔熱底座上。
當流體靜止時(shí)，加熱電阻兩側對稱(chēng)位置的溫度是相同的，當流體從右向左流動(dòng)時(shí)等溫線(xiàn)向左側傾斜，加熱電阻兩側對稱(chēng)位置的溫度不再相同，溫差可由置于加熱電阻兩側的熱偶堆測定。由于流體的傳熱只與流體質(zhì)量和流體的熱容有關(guān)，因此傳感器可以直接測出流體質(zhì)量流量。
熱式氣體流量傳感器利用比較簡(jiǎn)單的構造來(lái)準確地測量氣體的質(zhì)量流量，具有結構簡(jiǎn)單、壓損小、量程范圍寬等優(yōu)點(diǎn)，在工業(yè)過(guò)程控制、醫療設備、便攜式儀器、環(huán)境監測設備等領(lǐng)域有著(zhù)廣泛的應用。
在醫療設備中，流量傳感器是氣路系統的重要元件，醫院的病床供氧、樓層管道供氧以及呼吸機、制氧機、麻醉機等醫療設備中，為保證治療效果，需要精準控制氣體流量。
醫療設備的精準控制是關(guān)乎患者生命安全的大事，現代化的多傳感器融合技術(shù)也讓醫療過(guò)程有了可靠的解決方案。
流量是很多領(lǐng)域的一個(gè)重要參數，在工業(yè)控制和民用設施中，為了保證設備無(wú)故障檢測及檢測結果的可靠性，許多過(guò)程都需要氣體介質(zhì)的流入和流出量保持一致，這就離不開(kāi)流量傳感器的精準測量。
原子分光光度計、氣相色譜儀、氣密檢漏儀、風(fēng)速計、粒子計數器等儀器儀表中，都會(huì )用到流量傳感器。
在環(huán)境治理研究中，需要氣體以流動(dòng)形式參與反應，流動(dòng)相反應過(guò)程中氣體始終處于流動(dòng)狀態(tài)，因此實(shí)驗過(guò)程中也需要通過(guò)流量傳感器來(lái)精準調節氣體流量穩定參與反應。
隨著(zhù)技術(shù)的發(fā)展，國內的氣體流量傳感器在結構、測量精度、靈敏度、穩定性、功耗、成本等方面都有了很大的提升，越來(lái)越能夠滿(mǎn)足不斷變化的市場(chǎng)需求。
煒盛科技自主研發(fā)的氣體流量傳感器于2012年即成功面世并取得相關(guān)專(zhuān)利，同時(shí)我們還參與起草了《JB/T 13111-2017 熱式質(zhì)量流量傳感器》的行業(yè)標準。
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